麻省理工学院开放课程 工程学院研究生交互课程 制造过程的控制 2.830J / 6.780J / ESD.63J
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- 14 12 月, 2022
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概述:
本课程探讨的统计建模和制造过程的控制。主题包括使用实验设计和响应曲面造型,了解制造过程的物理,以及缺陷和产量建模和参数优化。各种形式的过程控制,包括统计过程控制,通过运行和自适应控制运行,并实时反馈控制,上述内容都将包括在本课程的探讨范围内。应用场合包括半导体制造业,传统的金属和聚合物加工,和新兴的微纳米制造工艺。
This course explores statistical modeling and control in manufacturing processes. Topics include the use of experimental design and response surface modeling to understand manufacturing process physics, as well as defect and parametric yield modeling and optimization. Various forms of process control, including statistical process control, run by run and adaptive control, and real-time feedback control, are covered. Application contexts include semiconductor manufacturing, conventional metal and polymer processing, and emerging micro-nano manufacturing processes.
作者概述:
麻省理工学院(Massachusetts Institute of Technology,MIT)是美国一所综合性私立大学。位于马萨诸塞州的波士顿,查尔斯河(Charles River)将其与波士顿的后湾区(Back Bay)隔开。MIT无论是在美国还是全世界都有非常重要的影响力,培养了众多对世界产生重大影响的人士,是全球高科技和高等研究的先驱领导大学。麻省理工学院的自然及工程科学在世界上享有极佳的声誉,其管理学、经济学、哲学、政治学、语言学也同样优秀。由于在学术方面的卓越成就,虽然MIT不是常春藤盟校成员,MIT也常被纳入Ivy Plus。
主讲人
Prof. David Hardt
Prof. Duane Boning
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