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概述:

本书阐述了薄膜材料与薄膜技术的基本原理和基本知识,概述了薄膜材料的真空制备技术、薄膜的化学制备和物理气相沉积方法、薄膜的形成和生长原理、薄膜的表征,对目前研究和应用的几种主要薄膜材料进行了概述、评述和展望。


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