微机电系统 苑伟政 乔大勇 扫描版
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- 25 10 月, 2022
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概述:
全书共分为六章,主要内容包括:MEMS发展历程、MEMS理论基础、MEMS基本工艺技术、MEMS设计技术、典型微器件与微系统和微测试技术等,本书可以作为高年级本科生和研究生学习微机电系统的教材使用,还可以作为工程技术等专业人员的参考手册。
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